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微系统所连续三年发表IEDM论文
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来源：中国科学院 2009-1-7 16:56:00 |
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IEEE电子器件学会年会IEDM以其论文挑选严苛、学术水平高为国际学术界所共识。中科院微系统所一室的科研人员自2004年发表了打破我国十几年在该会上的“论文荒”后，于2006年、2007年和2008年连续发表了三篇论文。同一单位能够连续三年发表IEDM论文，在国内仅此一家。
近三年的论文主要围绕微电子领域使用的MEMS技术，其中两篇涉及Post-CMOS兼容的RF-IC用MEMS高性能片上无源组件技术，2008年的论文涉及IC测试产业用新一代MEMS集成探针卡技术。 |
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